Группа | Научная литература |
---|---|
Область науки | Технические науки |
Название на русском языке | МОДИФИКАЦИЯ НАНОСЛОЕВ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ |
Авторы на русском языке | Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р., Шаехов М.Ф. |
Вид издания на русском языке | монография |
Издательство на русском языке | Казанский национальный исследовательский технологический университет |